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PECVD等离子体刻蚀机
■ 产品用途该设备是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生挥发性物质进行刻蚀的。该设备特别适合于目前太阳能电池片生产中的电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。
更新:2013-07-25
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等离子增强化学气相淀积设备
(PECVD)
■技术指标◆每管最大装片量：320片/舟（125*125）252片/舟（156*156）◆工艺指标：片内±3%，片间±3%，批间±3%◆控制：全进口自动压力闭环调节系统，精准控制反应真空；40KHzAE高频电源；工艺舟软着陆；全数字式控制，完善安全的过程控制保护。
更新:2013-07-25
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闭管软着陆扩散系统
闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环 境干扰，工艺质量完全受控。
更新:2013-07-25
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全自动层压机
(YDZ系列)
工作模式：两种工作模式自动/手动随意选择，正常工作时自动运行，效率高、稳定性好；调适或其它情况时单步手动操作，简便灵活；操作界面：中英文双语界面、设备控制程序简单易学易懂操作方便，各种工艺参数设置方便、精度高，真正做到人机合一；
更新:2013-07-25
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全自动层压机
(YDD系列)
工作模式：两种工作模式自动/手动随意选择，正常工作时自动运行，效率高、稳定性好；调适或其它情况时单步手动操作，简便灵活；操作界面：中英文双语界面、设备控制程序简单易学易懂操作方便，各种工艺参数设置方便、精度高，真正做到人机合一；
更新:2013-07-25
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太阳能全自动晶体生长炉
(CF1050)
技术参数炉室资料坩埚直径18“-24“单晶直径8“-12“装料量150 kg炉筒直径1050 mm喉管直径14 in(357mm)
更新:2013-07-24
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太阳能全自动晶体生长炉
(CF0950)
技术参数炉室资料坩埚直径18“-22“单晶直径8“-10“装料量120 kg炉筒直径950 mm 喉管直径12 in(305mm)
更新:2013-07-24
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太阳能全自动晶体生长炉
(CF0850)
炉室资料坩埚直径16“-20“单晶直径6“-10“装料量95 kg炉筒直径850 mm喉管直径12 in(305mm)
更新:2013-07-24
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半导体全自动晶体生长炉
(YCZ6000)
炉室资料坩埚直径14“-18“单晶直径4“-8“装料量60 kg炉筒直径30“(762mm)喉管直径10“(254mm)炉门开口尺寸11“×68“ (279mm×1727mm)
更新:2013-07-24
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铸锭回炉料测试
多晶铸锭是多晶硅片生产环节中的重要一环，硅锭的质量同时也影响着后续太阳能电池的转换效率。配合着semilab公司的少子寿命测试技术、红外探伤测试技术、电阻率测试技术等，可以对开方后的硅块、回炉料、头尾料等进行质量控制，从而达到节省成本、提高质量的目的。
更新:2013-07-22
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单晶炉
(NXRJ-CZ9022 B)
主要功能参数NXRJ-CZ9022 B/PCCD相素2,000,000个数单CCDIRCON精度0.1ºC晶料相关装料量120Kg通用直径8"/或非标坩锅直径20"/22"晶棒最长尺寸2010mm机器外型中炉内径900mm机器安装面积1750X1550mm机器高度7300mm炉体重量~4200Kg
更新:2013-07-18
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单晶炉
(NXRJ-CZ9524 B)
主要功能参数NXRJ-CZ9524 B/PCCD相素2000000(Color）个数双CCDIRCON精度0.1ºC晶料相关装料量150Kg通用直径8~10"/或非标坩锅直径22"/24"晶棒最长尺寸2010mm机器外型中炉内径950mm机器安装面积1815X1650mm机器高度7500mm炉体重量~4500Kg
更新:2013-07-18
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石墨舟清洗设备
可提供自动、手动两种操作方式。完善的设计结构，减少人员接触酸液次数。
更新:2013-07-17
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自动石英管清洗设备
可提供自动、手动两种操作方式。完善的设计结构。清洗过程中无需挪动被洗件，减少人员接触酸液次数，更安全。自动旋转机构，保证清洗不留死角。
更新:2013-07-17
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全自动硅芯、硅棒清洗设备
适用于硅芯、硅棒的清洗。硅芯：12~24条/批，最大144条/小时产能；（硅芯长：2000~2800mm，直径：7~12mm）。硅棒：1根/批（硅棒长：2000~2800mm，直径：150mm）。采用旋转清洗方式，保证被洗物各点均被腐蚀。
更新:2013-07-17
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全自动切片后硅片清洗设备
适用于【125x125、156x156】硅片，3600p/hr超大产能。超声波28KHz~40 KHz最合理搭配，保证清洗更彻底，碎片率更低。独特的去除切割损伤层功能，提高硅片表面质量。上下抛动助洗，清洗效果好。
更新:2013-07-17
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全自动硅料清洗设备
有多种型号，适用于不同工艺段的硅料清洗。采用德国最新清洗工艺流程制作，旋转清洗方式，保证硅料各点均被腐蚀，清洗效果好。装载量：15~30kg/篮，每小时~210kg的处理能力。
更新:2013-07-17
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全自动去磷硅玻璃清洗设备
用德国最新技术工艺制作，具有完善的防腐设计。适用于【125x125、156x156】硅片去磷硅玻璃清洗，200片/篮、300片/篮、400片/篮。具有3200p/hr的超大产能。最新的硅片烘干技术，保证硅片干燥后不留水痕。
更新:2013-07-17
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全自动电池片制绒酸洗综合设备
采用德国最新技术工艺制作，具有完善的防腐设计。适用于【125x125、156x156】硅片制绒，200片/篮、300片/篮、400片/篮。具有3200p/hr的超大产能。最新的硅片烘干技术，保证硅片干燥后不留水痕。
更新:2013-07-17
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CDS自动清洗补液系统
本设备用于自动清洗机系统的自动添加清洗液系统，有效控制清洗加液比例和时间，提高清洗质量
更新:2013-07-17
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