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无锡市奥曼特科技有限公司
WUXI AMT TECHNOLOGY CO.,LTD
产品介绍

晶圆片单双腔甩干机(DSG)
晶圆片单双腔甩干机

1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。

2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。

 

型号

DSG02

DSG02

工作腔数量

1

2

硅片规格   mm

3-6” 8” 12”

3-6” 8” 12”

旋转速度   r/min

300-2800

300-2800

氮气压力  Mpa

0.3

0.3

去离子水压力  Mpa

0.3

0.3

外型尺寸（长x宽x高）mm

850x460x1540

850x460x1940

电源功率   kw

 1.8

 1.8

电压 / 频率

AC380V 50HZ

AC380V 50HZ
公司其他产品
公司简介
无锡市奥曼特科技有限公司是一家集研发设计、生产、销售为一体的省级高新技术企业。公司成立于2003年，有多年太阳能光伏及半导体清洗设备的制造的经验，可以为客户听更适合的产品和解决方案。
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公司名称： 无锡市奥曼特科技有限公司
英文名称： WUXI AMT TECHNOLOGY CO.,LTD
联系人： 杜星星
所在城市： 江苏省 无锡
详细地址： 新吴区硕放里河路12-1
公司商铺： 56740.china-nengyuan.com
电子邮件： wxamtservice@163.com
公司电话： 0510-81000181-8006
传真： 0510-85418265
手机： 15995260361
QQ： 1738241903
微信号： 15995260361
邮编： 214142
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主营产品：半导体单筒甩干机 半导体双桶甩干机 半导体清洗机 牵引切割一体机 硅片甩干机 蓝宝石晶圆甩干机 精密钣金加工
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