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1． 整个甩干过程一般只需5-6分钟；
2． 设备的外露面为进口PP板，外形美观，耐酸气腐蚀；
3． 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢，并且表面电化学抛光处理；
4． 旋转机构经过精密动平衡处理，保证工作时的平衡性；
5． 采用特种减振器，精密减振和阻尼，保证系统的稳定；
6． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟；
7． 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠；
8． 采用油浴炉或气体加热器加热氮气，热量足，温度稳定，加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有双重安全保护；
9． 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换；
10． 顶盖采用电加热板辅助加热，保证顶盖烘干后不滴水；
11． 工作腔采用防静电控制。
1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制，整个过程智能化；
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存；
3. 采用变频技术控制转速，加减速平稳，清洗和甩干速度按工艺要求设定，并实时显示在液晶屏上；
4. 采用电子制动，制动时间控制在15秒之内；
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能；
6. 采用了工作过程状态监控，门位置状态监控与互锁，氮气加热温度实时监控，紧急停止按钮等安全措施。
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型号 model
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半导体行业Semiconductor
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太阳能行业 Solar
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SG09
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SG13
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SG11
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SG12
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工作腔数量
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4
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4
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8
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8
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硅片规格 mm
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2.5", 3", 4", 5", 6",8"
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12"
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125,156 25片盒
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125,156 50片盒
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旋转速度 r/min
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0-1000
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0-600
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0-900
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0-900
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氮气压力
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0.3
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去离子水压力
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0.3
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电阻率监控
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可选 optional
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氮气密封 Nitrogen seal
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有 Yes
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空/氮气烘干
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有 Yes
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氮气加热方式
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热传导 Heat exchange
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氮气加热温度
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30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control
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辅助加热系统
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有 Yes
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腔体电化学抛光
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可选 optional
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电机驱动
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变频调速 Speed regulating by frequency conversion
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控制系统
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PLC可编程控制器 PLC
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控制显示器
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液晶触摸屏 LCD touch screen
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外型尺寸（长x宽x高）mm
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1040x1095x894
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1636X1552X1007
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1250x1296x970
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1376x1296x1007
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电源功率 kw
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5
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6
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6
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6
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电压 / 频率
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AC380V 50HZ (三相四线) / AC380V 50HZ (3-phase)
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产品介绍
微信号：15995260361
